浙江求是創芯半導體設備有限公司(簡稱“求是創芯”)為浙江求是半導體設備有限公司全資子公司,求是創芯成立于2021年06月10日,注冊地址:浙江省杭州市臨平區杭州余杭經濟技術開發區順達路500號1幢103室,注冊資本41666667元人民幣,統一社會信用代碼:91330110MA2KH4F16J(1/1)。企業法定代表人:曹建偉,主要負責人:沈文杰,安全管理員:張文浩。經營范圍包括一般項目:半導體器件專用設備制造;半導體器件專用設備銷售;技術服務、技術開發、技術咨詢、技術交流、技術轉讓、技術推廣;專用設備制造(不含許可類專業設備制造);技術進出口;貨物進出口(除依法須經批準的項目外,憑營業執照依法自主開展經營活動)。
2018年浙江求是半導體設備有限公司投資10億元,在臨平區臨平街道順達路500號建造求是園區,2021年竣工后投產使用,求是創芯于2021年12月租賃求是園區內1#、2#廠房車間部分區域,進行EPI外延、LPCVD沉積、ALD沉積等半導體設備制造和實驗測試。
該公司產品未列入《危險化學品目錄》(2015版)中,因此不屬于危險化學品生產企業,但在生產過程中使用到的乙醇、氬氣、氮氣、氫、氯化氫、四氯化鈦、四(二甲氨基)鈦、甲硅烷、雙(二乙基氨基)硅烷、氨、二氯硅烷、鍺烷和氫氣混合氣、三甲基鋁、氧氣、乙硼烷和氫氣混合氣、磷化氫和氫氣混合氣、甲基硅烷和氫氣混合氣、硅烷和氫氣混合、乙硅烷和氫氣混合氣、一氧化氮、三氟化氮、氫氧化鈉、天然氣等物料均屬于危險化學品,因此,該企業為危險化學品使用企業。